[发明专利]物镜旋转的辅助装置

说明书

技术领域

本发明涉及微电子装备，尤其涉及一种物镜旋转的辅助装置。

背景技术

投影物镜的像差是影响投影式光刻机光刻分辨率和套刻精度的一个重要因素，随着光刻特征尺寸的不断减小，尤其是随着分辨力增强技术的使用，高级像质参数对光刻性能的影响也越来越突出，对物镜的波像差进行检测就显得尤为重要。对物镜的波像差进行检测时，物镜支撑在基板上，由于需要对物镜在不同的角度和位置进行多次测试，这就需要经常旋转物镜，物镜具有一定的重量，单靠人力旋转物镜非常困难，现有技术的做法是，借助外部起吊装置将物镜起吊起来(物镜离开基板)，再进行旋转，旋转好后将物镜重新放回基板，重新连接。这种方法既费力又耗时，还要借助外部的起吊装置，对于测试来说实用性比较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种物镜旋转的辅助装置，实用性强，且省时省力。

为了达到上述的目的，本发明提供一种物镜旋转的辅助装置，设置在基板上，用于辅助旋转物镜，所述物镜旋转的辅助装置包括：环形导轨，固定在所述基板上；环形转接板，设置在所述环形导轨上，所述物镜穿过所述环形转接板和环形导轨，并与所述环形转接板挠性连接，所述环形转接板设有槽孔；滑块，设置在所述环形转接板的槽孔内；旋转滚珠，设置在所述滑块靠近所述环形导轨的一端；推压机构，设置在所述环形转接板上，所述推压机构推压所述滑块，使所述旋转滚珠与所述环形导轨滚动连接。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，还包括定位滚珠和挡板，所述基板设有三个凹槽，所述三个凹槽分布在同一圆周上，且所述凹槽的开口朝向所述环形转接板，所述定位滚珠和挡板设置于所述凹槽内，所述挡板固定在所述基板上，所述定位滚珠夹在所述环形转接板的外侧壁与所述挡板之间。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，每个所述凹槽内设有三个定位滚珠，所述三个定位滚珠沿所述环形转接板的轴向排成一列。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，所述挡板呈“L”字型。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，所述凹槽沿圆周平均分布。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，所述槽孔有3个，所述3个槽孔沿所述环形转接板的圆周平均分布。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，所述环形转接板还设有连接部件，用于与所述环形导轨连接，所述连接部件与所述环形导轨连接时，所述环形转接板固定在所述环形导轨上，所述连接部件未与所述环形导轨连接时，所述环形转接板能相对所述环形导轨转动。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，所述滑块靠近所述环形导轨的一端设有6个旋转滚珠，所述6个旋转滚珠在同一平面内被平均分成两排。

上述物镜旋转的辅助装置，其中，所述推压机构包括压板和推压螺钉，所述压板固定在所述环形转接板上，所述推压螺钉与所述压板螺纹连接，且所述推压螺钉的一端穿过所述压板，并与所述滑块远离所述环形导轨的一端接触。

本发明的物镜旋转的辅助装置利用推压机构的推压作用下使旋转滚珠与环形导轨滚动连接，环形转接板与物镜连接，且通过旋转滚珠与环形导轨滚动连接，借助本发明的物镜旋转的辅助装置依靠人力就可将物镜旋转起来，非常省力，且本发明的物镜旋转的辅助装置设置在基板上，就可在基板上旋转物镜，无需将物镜起吊出来，非常省时省力，对测试来说，具有较强的实用性；

进一步的，本发明的物镜旋转的辅助装置在环形转接板的外圆周外设置三组定位滚珠，利用三点确定一个平面的原理，限制物镜沿环形转接板的径向运动，保证了物镜旋转过程的同轴度；另外，定位滚珠与环形转接板滚动连接，不会对物镜的旋转产生阻碍。

附图说明

本发明的物镜旋转的辅助装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本发明物镜旋转的辅助装置实施例一的示意图。

图2是图1中虚线圈A的局部放大图。

图3是本发明中环形转接板的俯视图。

图4是本发明物镜旋转的辅助装置实施例二的示意图。

图5是图4中虚线圈B的局部放大图。

具体实施方式

以下将结合图1～图5对本发明的物镜旋转的辅助装置作进一步的详细描述。

对物镜的波像差进行检测时，物镜通常支撑在基板上，本发明物镜旋转的辅助装置设置在所述基板上，因此，借助本发明物镜旋转的辅助装置旋转物镜无需将物镜起吊出来。

实施例一：

参见图1和图2，基板300设有台阶状的安装孔，物镜100穿过所述安装孔，本实施例的物镜旋转的辅助装置200设置在所述安装孔内。