[发明专利]基片对位传输设备

摘要

本发明提供了一种安装在升降平台上的基片对位传输设备，该基片对位传输设备分别沿X轴和Y轴设于升降平台上，该基片对位传输设备包括驱动器、主动齿轮、从齿动轮、传送件及两个对位组件。主动齿轮和从动齿轮呈相互平行的设置于升降平台上，驱动器安装在升降平台上且其输出轴与主动齿轮连接，传送件呈啮合的套接于主动齿轮和从动齿轮上形成上传送层和下传送层，对位组件呈相互平行且滑动的设置于升降平台上形成对位区，一所述对位组件与上传送层的靠近从动齿轮的一端固定，另一所述对位组件与下传送层的靠近主动齿轮的一端固定。本发明基片对位传输设备使得基片对位简单并能提高对位效率，同时，本发明还具有结构简单和维护方便的优点。

主权项

一种基片对位传输设备，安装于一升降机构的升降平台上，所述基片对位传输设备分别沿X轴和Y轴设置于所述升降平台上，其特征在于，所述基片对位传输设备包括驱动器、主动齿轮、从齿动轮、传送件及两个对位组件，所述主动齿轮和从动齿轮呈相互平行的设置于所述升降平台上，所述驱动器安装在所述升降平台上，且所述驱动器的输出轴与所述主动齿轮连接，所述传送件呈啮合的套接于所述主动齿轮和从动齿轮上形成上传送层和下传送层，所述对位组件呈相互平行且滑动的设置于所述升降平台上形成对位区，一所述对位组件与所述上传送层的靠近所述从动齿轮的一端固定，另一所述对位组件与所述下传送层的靠近所述主动齿轮的一端固定。