[发明专利]基片对位传输设备

权利要求书

1.一种基片对位传输设备，安装于一升降机构的升降平台上，所述基片对位传输设备分别沿X轴和Y轴设置于所述升降平台上，其特征在于，所述基片对位传输设备包括驱动器、主动齿轮、从齿动轮、传送件及两个对位组件，所述主动齿轮和从动齿轮呈相互平行的设置于所述升降平台上，所述驱动器安装在所述升降平台上，且所述驱动器的输出轴与所述主动齿轮连接，所述传送件呈啮合的套接于所述主动齿轮和从动齿轮上形成上传送层和下传送层，所述对位组件呈相互平行且滑动的设置于所述升降平台上形成对位区，一所述对位组件与所述上传送层的靠近所述从动齿轮的一端固定，另一所述对位组件与所述下传送层的靠近所述主动齿轮的一端固定。

2.根据权利要求1所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述传送件为同步带。

3.根据权利要求1所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述对位组件包括对位轴固定架、滑块及两个对位轴，所述升降平台设置有导轨，所述滑块滑动的卡于所述导轨上，所述对位轴固定架的底端固定于所述滑块上，所述对位轴固定于所述对位轴固定架的顶端，一所述对位组件的对位轴固定架与所述上传送层固定，另一所述对位组件的对位轴固定架与所述下传送层固定。

4.根据权利要求3所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述对位轴呈相互平行的固定于所述对位轴固定架的顶端。

5.根据权利要求3所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述对位轴呈竖直的固定于所述对位轴固定架的顶端。

6.根据权利要求3所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述对位轴上套设有柔性的保护垫。

7.根据权利要求3所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述导轨呈直条状，所述直条状的导轨分别沿X轴和Y轴固定在所述升降平台上。

8.根据权利要求3至5任一项所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述对位轴上对应的枢接有对位滚轮。

9.根据权利要求8所述的基片对位传输设备，其特征在于，所述对位滚轮上套设有软质的防护垫。