[发明专利]载荷重心自适应主动减振器及由其构成的减振系统无效
| 申请号: | 201110076859.7 | 申请日: | 2011-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN102230508A | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
| 发明(设计)人: | 陈学东;周振华;蒲华燕;李子龙;徐振高 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
| 主分类号: | F16F15/02 | 分类号: | F16F15/02;F16F15/023 |
| 代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青 |
| 地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种载荷重心自适应主动减振器及由其构成的减振系统。减振器它包括载荷传感器,用来实现对水平方向的减振的被动减振部件,以及用来实现对垂直方向的减振的主动减振单元,主动减振单元和被动减振单元为串联关系,载荷传感器安装在减振器的任意轴向力位置。减振系统由三个减振器和一个等边三角形的减振平台所组成;以减振平台的几何中心为圆心,三个减振器呈120度角均布在同一圆周上。本发明能在载荷重心偏离减振平台几何中心的情况下,保持良好的减振性能。该减振系统除可用于光刻机外,还可用作精密加工设备、精密仪器、光学实验设备、精密医疗设备等的隔振平台。 | ||
| 搜索关键词: | 载荷 重心 自适应 主动 减振器 构成 系统 | ||
【主权项】:
一种载荷重心自适应主动减振器,其特征在于,它包括载荷传感器,用来实现对水平方向的减振的被动减振部件,以及用来实现对垂直方向的减振的主动减振单元,主动减振单元和被动减振单元为串联关系,载荷传感器(9)安装在减振器的任意轴向力位置。
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