[发明专利]载荷重心自适应主动减振器及由其构成的减振系统无效

专利信息
申请号: 201110076859.7 申请日: 2011-03-29
公开(公告)号: CN102230508A 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 陈学东;周振华;蒲华燕;李子龙;徐振高 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: F16F15/02 分类号: F16F15/02;F16F15/023
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种载荷重心自适应主动减振器及由其构成的减振系统。减振器它包括载荷传感器,用来实现对水平方向的减振的被动减振部件,以及用来实现对垂直方向的减振的主动减振单元,主动减振单元和被动减振单元为串联关系,载荷传感器安装在减振器的任意轴向力位置。减振系统由三个减振器和一个等边三角形的减振平台所组成;以减振平台的几何中心为圆心,三个减振器呈120度角均布在同一圆周上。本发明能在载荷重心偏离减振平台几何中心的情况下,保持良好的减振性能。该减振系统除可用于光刻机外,还可用作精密加工设备、精密仪器、光学实验设备、精密医疗设备等的隔振平台。
搜索关键词: 载荷 重心 自适应 主动 减振器 构成 系统
【主权项】:
一种载荷重心自适应主动减振器,其特征在于,它包括载荷传感器,用来实现对水平方向的减振的被动减振部件,以及用来实现对垂直方向的减振的主动减振单元,主动减振单元和被动减振单元为串联关系,载荷传感器(9)安装在减振器的任意轴向力位置。
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