[发明专利]振动片、角速度传感器以及电子设备无效
| 申请号： | 201110076397.9 | 申请日： | 2011-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN102221360A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 志村匡史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够检测绕多个检测轴旋转的角速度的振动片、角速度传感器以及电子设备。振动片(1)具有：基部(5)；从该基部的第1轴方向的两端部起沿第1轴方向延伸的第1驱动臂(2)和第2驱动臂(3)；从基部的侧面(203)起沿垂直于第1轴方向的第2轴方向延伸的检测臂(4)；从基部的侧面起以包围检测臂的方式延伸的支撑部(6)。支撑部具有从基部的侧面起沿第2轴方向延伸的第1连接梁(7)和第2连接梁(8)。在第1和第2驱动臂的第1表面(201)上形成有沿第1轴方向并列设置的第1和第2驱动电极(12A、12B)，在检测臂的第1表面上形成有沿第2轴方向并列设置的一对第1和第2检测电极(14A、14B)。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 角速度 传感器 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；第1驱动臂，其从所述基部的第1轴方向的一端起沿所述第1轴方向延伸；第2驱动臂，其从所述基部的所述第1轴方向的另一端起沿所述第1轴方向延伸；驱动电极，其分别设置于所述第1驱动臂和所述第2驱动臂；检测臂，其从所述基部起沿垂直于所述第1轴方向的第2轴方向延伸；检测电极，其设置于所述检测臂；以及支撑部，其从所述基部起延伸，所述支撑部被设置成包围所述检测臂。
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