[发明专利]振动片、角速度传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：

基部；

第1驱动臂，其从所述基部的第1轴方向的一端起沿所述第1轴方向延伸；

第2驱动臂，其从所述基部的所述第1轴方向的另一端起沿所述第1轴方向延伸；

驱动电极，其分别设置于所述第1驱动臂和所述第2驱动臂；

检测臂，其从所述基部起沿垂直于所述第1轴方向的第2轴方向延伸；

检测电极，其设置于所述检测臂；以及

支撑部，其从所述基部起延伸，

所述支撑部被设置成包围所述检测臂。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述振动片使用了压电体材料。

3.根据权利要求2所述的振动片，其特征在于，

所述压电体材料使用了石英。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述驱动电极和所述检测电极是包含第1电极、第2电极以及压电体层的层叠体，其中，该压电体层设置于所述第1电极和所述第2电极之间，

所述第1驱动臂、所述第2驱动臂以及所述检测臂沿各臂的所述延伸的方向并列设置有两个所述层叠体，并且，一个所述层叠体的所述第1电极和另一个所述层叠体的所述第2电极电连接，并且一个所述层叠体的所述第2电极和另一个所述层叠体的所述第1电极电连接。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述检测电极使用了一对梳齿状电极。

6.一种角速度传感器，其特征在于，该角速度传感器具有：

权利要求1～5中的任意一项所述的振动片；

驱动单元，其在沿所述第2轴的同一方向驱动所述第1驱动臂和所述第2驱动臂；以及

检测单元，其经由所述检测电极对在所述驱动时以所述第1轴为旋转轴进行旋转时，由于在所述检测臂中产生的垂直于所述第1轴和所述第2轴的第3轴方向的振动而产生的电压进行检测。

7.一种角速度传感器，其特征在于，该角速度传感器具有：

权利要求1～5中的任意一项所述的振动片；

驱动单元，其在沿所述第2轴的同一方向驱动所述第1驱动臂和所述第2驱动臂；以及

检测单元，其经由所述检测电极对在所述驱动时以垂直于所述第1轴和所述第2轴的第3轴为旋转轴进行旋转时，由于在所述检测臂中产生的所述第1轴方向的振动而产生的电压进行检测。

8.一种电子设备，其特征在于，该电子设备搭载有权利要求1～5中的任意一项所述的振动片。