[发明专利]一种光子筛结构无效

专利信息
申请号: 201110064413.2 申请日: 2011-03-17
公开(公告)号: CN102681059A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 谢常青;辛将;朱效立;刘明 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B1/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种光子筛结构,该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,该透光圆孔呈环带状分布,所述环带半径为rm、宽度为wm,其中:rm2=2mfλ+m2λ2;对应rm上的透光圆孔的直径为:其中λ为波长,f为焦距,m为圆孔分布的环数。本发明提供的光子筛结构相对于常规光子筛,具有更高的衍射效率。
搜索关键词: 一种 光子 结构
【主权项】:
一种光子筛结构,该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,其特征在于,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,该透光圆孔呈环带状分布。
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