[发明专利]一种光子筛结构无效
申请号: | 201110064413.2 | 申请日: | 2011-03-17 |
公开(公告)号: | CN102681059A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 谢常青;辛将;朱效立;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B1/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明公开了一种光子筛结构,该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,该透光圆孔呈环带状分布,所述环带半径为rm、宽度为wm,其中:rm2=2mfλ+m2λ2;对应rm上的透光圆孔的直径为: |
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搜索关键词: | 一种 光子 结构 | ||
【主权项】:
一种光子筛结构,该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,其特征在于,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,该透光圆孔呈环带状分布。
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