[发明专利]一种光子筛结构无效
| 申请号： | 201110064413.2 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN102681059A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;辛将;朱效立;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光子 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种光子筛结构，该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，其特征在于，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布。
2.如权利要求1所述的光子筛结构，其特征在于，该透光圆孔呈环带状分布时，环带半径为rm、环带宽度为wm，其中，rm2＝2mfλ+m2λ2；对应rm上的透光圆孔的直径为其中λ为波长，f为焦距，m为圆孔所在环带的环数，最内环为第一环。
3.如权利要求2所述的光子筛结构，其特征在于，所述透光衬底的材料为透光材料。
4.如权利要求3所述的光子筛结构，其特征在于，所述透光材料为熔融石英、普通玻璃或有机玻璃。
5.如权利要求1所述的光子筛结构，其特征在于，所述不透光金属薄膜的材料为铬、金、铝或铜。
6.如权利要求5所述的光子筛结构，其特征在于，所述不透光金属薄膜的厚度大于60nm。
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