[发明专利]液体喷射头以及液体喷射装置有效
| 申请号: | 201110060713.3 | 申请日: | 2011-03-10 |
| 公开(公告)号: | CN102205717A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
| 发明(设计)人: | 米村贵幸;绳野真久 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045;B41J2/135;H01L41/083 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李伟;王轶 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供液体喷射头以及液体喷射装置,能够防止铋向振动板扩散并且减少环境负荷。液体喷射头具备:设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;设置在上述流路形成基板上,由含有硅的材料构成的振动板;设置在上述振动板上的氧化钛层;设置在上述氧化钛层上,含有铋的含铋层;形成在上述含铋层上,由白金构成的第一电极;设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成的压电体层;形成在上述压电体层上的第二电极。 | ||
| 搜索关键词: | 液体 喷射 以及 装置 | ||
【主权项】:
一种液体喷射头,其特征在于,具备:流路形成基板,其设置有与喷嘴开口连通的压力发生室;振动板,其设置在上述流路形成基板上,由含有硅的材料构成;氧化钛层,其设置在上述振动板上;含铋层,其设置在上述氧化钛层上,含有铋;第1电极,其形成在上述含铋层上,由白金构成;压电体层,其设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成;第2电极,其形成在上述压电体层上。
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