[发明专利]液体喷射头以及液体喷射装置有效

专利信息
申请号: 201110060713.3 申请日: 2011-03-10
公开(公告)号: CN102205717A 公开(公告)日: 2011-10-05
发明(设计)人: 米村贵幸;绳野真久 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/045 分类号: B41J2/045;B41J2/135;H01L41/083
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李伟;王轶
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供液体喷射头以及液体喷射装置,能够防止铋向振动板扩散并且减少环境负荷。液体喷射头具备:设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;设置在上述流路形成基板上,由含有硅的材料构成的振动板;设置在上述振动板上的氧化钛层;设置在上述氧化钛层上,含有铋的含铋层;形成在上述含铋层上,由白金构成的第一电极;设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成的压电体层;形成在上述压电体层上的第二电极。
搜索关键词: 液体 喷射 以及 装置
【主权项】:
一种液体喷射头,其特征在于,具备:流路形成基板,其设置有与喷嘴开口连通的压力发生室;振动板,其设置在上述流路形成基板上,由含有硅的材料构成;氧化钛层,其设置在上述振动板上;含铋层,其设置在上述氧化钛层上,含有铋;第1电极,其形成在上述含铋层上,由白金构成;压电体层,其设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成;第2电极,其形成在上述压电体层上。
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