[发明专利]液体喷射头以及液体喷射装置

权利要求书

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：

流路形成基板，其设置有与喷嘴开口连通的压力发生室；

振动板，其设置在上述流路形成基板上，由含有硅的材料构成；

氧化钛层，其设置在上述振动板上；

含铋层，其设置在上述氧化钛层上，含有铋；

第1电极，其形成在上述含铋层上，由白金构成；

压电体层，其设置在上述第1电极上、由至少含有铋的压电材料构成；

第2电极，其形成在上述压电体层上。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电材料含有铁锰酸铋镧。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电材料含有钛酸钡。

4.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

上述压电材料含有钛酸铋钾。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的液体喷射头，其特征在于，

上述含铋层的厚度是10nm以下。

6.一种液体喷射装置，其特征在于，

具备权利要求1～5中的任意一项所述的液体喷射头。