[发明专利]一种制备碳材料表面抗氧化Nb涂层的方法无效
| 申请号： | 201110045228.9 | 申请日： | 2011-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN102127737A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 李翠艳;黄剑锋;刘辉;曹丽云;卢靖;吴建鹏 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C04B41/88 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 汪人和 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备碳材料表面抗氧化Nb涂层的方法，采用超高真空多功能磁控溅射镀膜设备，以纯度为99.9％的金属Nb为靶材，体积分数为99.99％的高纯氩气为溅射气体，经直流磁控溅射在石墨材料表面制备抗氧化Nb涂层。该制备方法所得抗氧化Nb涂层致密性和均匀性好，具有抗热冲击性和良好的高温抗氧化性能；通过调整磁控溅射工艺参数，可以方便控制涂层厚度，便于大面积制备涂层；制备涂层时基材温升低，涂层成分均匀稳定；且工艺过程相对简单，重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 材料 表面 氧化 nb 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种制备碳材料表面抗氧化Nb涂层的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：对碳材料用SiO2砂纸进行打磨、抛光，然后超声清洗，最后用去离子水冲洗，烘干备用；步骤2：采用超高真空多功能磁控溅射镀膜设备，将步骤1所得的碳材料安装于进样室内的基片架上；步骤3：将纯度为99.9％的金属Nb靶置于主溅射室内的直流阴极上，作为靶材；步骤4：对主溅射室和进样室抽真空至背底真空小于等于10‑4Pa后，向其中通入纯度为99.99％的高纯氩气；步骤5：调节碳材料与靶材的间距为30～60nm，溅射10～40min分钟后取出试样，即得碳材料表面抗氧化Nb涂层。
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