[发明专利]固态图像拾取装置和用于制造固态图像拾取装置的方法

摘要

本发明涉及固态图像拾取装置和用于制造固态图像拾取装置的方法。公开了一种用于制造固态图像拾取装置的方法，该固态图像拾取装置包括配备有第一光电转换单元的第一有源区、配备有第二光电转换单元的第二有源区、以及与第一有源区和第二有源区邻接且配备有像素晶体管的第三有源区，其中场区位于第三有源区与第一有源区以及第二有源区之间，该方法包括以下步骤：离子注入第一导电类型杂质离子以在第三有源区中的预定深度处形成用作针对信号载流子的势垒的半导体区域，以及利用比上述离子注入能量低的能量来将第二导电类型杂质离子离子注入到第三有源区中。

主权项

一种用于制造固态图像拾取装置的方法，所述固态图像拾取装置包括：多个像素，包括：用于生成信号载流子的光电转换单元，和至少一个像素晶体管，用于读取基于在所述光电转换单元中生成的所述信号载流子的信号，配备有第一光电转换单元的第一有源区，配备有第二光电转换单元的第二有源区，以及第三有源区，所述第三有源区与第一有源区和第二有源区邻接并且配备有所述像素晶体管，其中场区位于第三有源区与第一有源区以及第二有源区之间，所述方法包括以下步骤：离子注入第一导电类型杂质离子，以便在第三有源区中的预定深度处形成用作针对所述信号载流子的势垒的半导体区域，以及利用比第一导电类型杂质离子的离子注入的注入能量低的能量来将第二导电类型杂质离子离子注入到第三有源区中的用作所述像素晶体管的沟道部分的区域中。