[发明专利]压力传感器和方法有效
| 申请号： | 201110039698.4 | 申请日： | 2011-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102183334A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | T·考奇;M·米勒;D·梅因霍尔德;B·罗萨姆;K·埃利安;S·科尔布 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;蒋骏 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于提供压力传感器衬底的方法包括：创建第一空腔，所述第一空腔在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸并且在衬底内部在与第一方向垂直的第二方向上延伸进入衬底的第一通气区域；创建第二空腔，所述第二空腔在衬底内部在第一方向上延伸，在第二方向上平行于第一空腔延伸，并且不延伸进入第一通气区域；以及将第一空腔开口于第一通气区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 方法 | ||
【主权项】：
一种用于提供压力传感器衬底的方法，包括：创建第一空腔，所述第一空腔在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸并且在衬底内部在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸进入衬底的第一通气区域；创建第二空腔，所述第二空腔在衬底内部在所述第一方向上延伸，在所述第二方向上平行于所述第一空腔延伸，并且不延伸进入所述第一通气区域；以及将所述第一空腔开口于所述第一通气区域中。
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