[发明专利]一种太阳电池发射极腐蚀方法无效
| 申请号： | 201110038476.0 | 申请日： | 2011-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102634799A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 梁宗存;曾飞;沈辉 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 陈振华 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种对太阳电池的发射极的处理工艺，特别是一种太阳电池发射极腐蚀方法，其以氢氟酸和硝酸的混合溶液为基本腐蚀液，并至少添加入亚硝酸或者亚硝酸盐或者硫酸或者硫酸盐或者磷酸或者磷酸盐的一种或者以上的任意组合，优化腐蚀溶液的配比、温度、时间、添加剂的加入量等因素，可以均匀、可控地去除发射极表面的高杂质浓度区域，然后经过清洗，制备出低表面杂质浓度的太阳电池，或者结合掩模的印制工艺制备选择性发射极太阳电池。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳电池 发射极 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳电池发射极腐蚀液，其特征在于，以氢氟酸和硝酸的混合水溶液作为基本腐蚀液，并至少添加入亚硝酸或者亚硝酸盐或者硫酸或者硫酸盐或者磷酸或者磷酸盐的一种或者以上的任意组合。
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