[发明专利]致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置

摘要

本发明提供致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置。本发明涉及的致动器包括：具有第1面的基板；被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻的多个第1导电层；具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部分的压电体层，所述第1部分被形成为分别覆盖多个所述第1导电层的至少一部分；具有第3部分和第4部分的第2导电层，所述第3部分沿所述第2方向延伸，以便连续覆盖多个所述第1部分，并且从与所述第1面垂直的方向观看时与所述第1导电层的至少一部分重叠，所述第4部分与所述第3部分电连接并形成在所述压电体层的所述第2部分之上，并且在所述第1方向上延伸；具有形成在所述第2导电层的所述第4部分之上并在所述第1方向上延伸的第5部分的第1引线配线；以及被形成为覆盖所述第1引线配线的至少一部分的保护膜；其中，所述压电体层具有被设置成在所述第1方向上延伸并在所述第2方向上彼此相邻的多个第1开口部，所述压电体层的所述第1部分是夹在所述第1开口部之间的部分。

主权项

一种致动器，包括：基板，所述基板具有第1面；多个第1导电层，所述多个第1导电层被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸，并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻；压电体层，所述压电体层具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部分，所述第1部分被形成为分别覆盖多个所述第1导电层的至少一部分；第2导电层，所述第2导电层具有第3部分和第4部分，所述第3部分沿所述第2方向延伸，以便连续覆盖多个所述第1部分，并且从与所述第1面垂直的方向观看时与所述第1导电层的至少一部分重叠，所述第4部分与所述第3部分电连接并形成在所述压电体层的所述第2部分之上，并且在所述第1方向上延伸；第1引线配线，所述第1引线配线具有第5部分，所述第5部分形成在所述第2导电层的所述第4部分之上，并在所述第1方向上延伸；以及保护膜，所述保护膜被形成为覆盖所述第1引线配线的至少一部分；其中，所述压电体层具有多个第1开口部，所述多个第1开口部被设置成在所述第1方向上延伸并在所述第2方向上彼此相邻，所述压电体层的所述第1部分是夹在所述第1开口部之间的部分。