[发明专利]致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及致动器、液滴喷射头及其制造方法、以及液滴喷射装置。

背景技术

例如，已知在能够用于图像记录装置以及显示器制造装置等的喷墨式打印机等液滴喷射装置中的用于喷射墨水等液滴的液滴喷射头中使用具有压电元件的致动器。这样的致动器例如通过施加驱动信号等电压来使压电元件的压电体变形，由此能够使形成在压电元件下方的振动板等基板变形从而改变压力室内的容积。由此，液滴喷射头能够将被供应到压力室内的墨水等液滴从喷嘴孔喷射。

在这样的致动器中，已知有如下的共用上部电极构造：形成多个压电元件的压电体，覆盖压电体的电极(以下也称为“上部电极”)以连续覆盖多个压电体的方式形成(专利文献1)。在共用上部电极构造的致动器中，与被压电体覆盖的电极(以下也称为“下部电极”)相比，上部电极需要起多个压电元件的共用电极的功能，在其引线配线中需要流过比流经下部电极的引线配线的电流更大的电流。因此，上部电极的引线配线被要求具有高的可靠性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利文献特开2009-172878。

发明内容

发明要解决的问题

本发明的一个方面在于提供具有高可靠性的致动器。

本发明的一个方面在于提供具有上述致动器的液滴喷射头。

本发明的一个方面在于提供具有上述液滴喷射头的液滴喷射装置。

本发明的一个方面在于提供具有高可靠性的致动器的制造方法。

本发明的一个方面在于提供具有上述致动器的液滴喷射头的制造方法。

用于解决问题的手段

(1)作为本发明的一个方面的致动器包括：

基板，所述基板具有第1面；

多个第1导电层，所述多个第1导电层被设置成在所述第1面中在第1方向上延伸，并在与所述第1方向交叉的第2方向上彼此相邻；

压电体层，所述压电体层具有第1部分以及所述第1部分以外的第2部分，所述第1部分被形成为分别覆盖多个所述第1导电层的至少一部分；

第2导电层，所述第2导电层具有第3部分和第4部分，所述第3部分沿所述第2方向延伸，以便连续覆盖多个所述第1部分，并且从与所述第1面垂直的方向观看时与所述第1导电层的至少一部分重叠，所述第4部分与所述第3部分电连接并形成在所述压电体层的所述第2部分之上，并且在所述第1方向上延伸；

第1引线配线，所述第1引线配线具有第5部分，所述第5部分形成在所述第2导电层的所述第4部分之上，并在所述第1方向上延伸；以及

保护膜，所述保护膜被形成为覆盖所述第1引线配线的至少一部分；

其中，所述压电体层具有多个第1开口部，所述多个第1开口部被设置成在所述第1方向上延伸并在所述第2方向上彼此相邻，

所述压电体层的所述第1部分是夹在所述第1开口部之间的部分。

此外，在本实施方式的记载中，例如将“～之上”的措词用作“在特定物(以下称为“A”)的“上面”形成其他特定物(以下称为“B”)”等的意思。在本发明的记载中，在该例子的情形下使用“～之上”的措词，以表示包括在A上直接形成B的情形、和在A上经由其他物形成B的情形。同样地，“～之下”的措词包括在A下直接形成B的情形、和在A下通过其他物形成B的情形。

根据本发明，由于第1引线配线被保护膜覆盖，因此能够防止第1引线配线的剥离。由此，能够提供可靠性高的致动器。

(2)在本发明的一个方面中，也可以如下：

所述第2导电层的所述第3部分还覆盖所述压电体层的所述第2部分的一部分，

所述第1引线配线还具有第6部分，所述第6部分与所述第5部分电连接并形成在所述第2部分之上的所述第3部分之上，并且在所述第2方向上延伸，

所述第6部分也被所述保护膜覆盖。

(3)在本发明的一个方面中，也可以如下：

所述压电体层的所述第2部分具有使所述第1导电层的一部分暴露的第2开口部，

在所述第2开口部内形成与所述第1导电层电连接的第2引线配线，

所述保护膜还覆盖所述第2引线配线的一部分。

(4)在本发明的一个方面中，也可以如下：

所述保护膜具有敞开所述第3部分的一部分的第3开口部，

将被所述第1导电层和所述第2导电层夹持的所述压电体层的所述第1部分设为驱动区域，

当将通过所述第3开口部从所述保护膜暴露的所述第3部分的一部分设为第7部分时，