[发明专利]光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含由式(I)表示的化合物和由式(B1)表示的酸生成剂，在式(I)中R1，R2，R3和R4独立地表示氢原子等，X1至X8独立地表示氢原子或由式(II)表示的基团；在式(II)中R11和R12独立地表示氢原子等，m表示1至4的整数，R13表示C1-C6烷基等，并且环Y1表示C3-C20饱和烃环；在式(B1)中Q1和Q2独立地表示氟原子等，Lb1表示C1-C17饱和二价烃基，在所述C1-C17饱和二价烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，Y表示C1-C18脂族烃基等，并且Z+表示有机阳离子。

主权项

1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：由式(I)表示的化合物和由式(B1)表示的酸生成剂：其中R¹，R²，R³和R⁴独立地表示氢原子，C1-C6烷基，C3-C10环烷基，C4-C20环烷基烷基，C6-C20芳基，C7-C20芳烷基或由-OX⁹表示的基团，并且所述烷基，所述芳基和所述芳烷基的一个或多个氢原子可以被由-OX¹⁰表示的基团代替，X¹，X²，X³，X⁴，X⁵，X⁶，X⁷，X⁸，X⁹和X¹⁰独立地表示氢原子或由式(II)表示的基团：其中R¹¹和R¹²独立地表示氢原子或C1-C6烷基，m表示1至4的整数，R¹³表示C1-C6烷基或C3-C12饱和环状烃基，并且环Y¹表示C3-C20饱和烃环，其中Q¹和Q²独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L^b1表示单键或C1-C17饱和二价烃基，在所述C1-C17饱和二价烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-或-CO-代替，Y表示C1-C18脂族烃基或C3-C18饱和环状烃基，并且所述脂族烃基和所述饱和环状烃基可以具有一个或多个取代基，并且所述脂族烃基和所述饱和环状烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-或-SO₂-代替，并且Z⁺表示有机阳离子。