[发明专利]用于电光调制器的波导电容器有效
| 申请号： | 201110028768.6 | 申请日： | 2008-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102087425A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李冰 | 申请（专利权）人： | 李冰 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于电光调制器的波导电容器，包括脊波导，所述脊波导的波导脊上刻蚀有槽型结构，并在其上加载半导体材料，所加载的半导体材料和脊波导之间有绝缘层隔离，所加载半导体材料填充至所刻蚀的槽中，其中所述加载后的波导仍保持脊波导的形状，形成封盖式波导电容；所述绝缘层上直接加载半导体材料；所述脊波导的波导脊上刻蚀有纵向槽或周期性分布的横向槽结构，所述纵向槽使波导脊形成双脊结构，所述横向槽的间隔周期略短于光波长的二分之一。本发明与现有技术相比，脊波导的波导脊上刻蚀有槽型结构，提高了单位波导导模模斑横截面所携带的电容值，同时，波导导模的有效模斑尺寸比现有的波导电容小，对光的限制因子大，有利于提高调制器的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电光 调制器 波导 电容器 | ||
【主权项】：
一种用于电光调制器的波导电容器，包括脊波导，所述脊波导的波导脊上刻蚀有槽型结构，并在其上加载半导体材料，所加载的半导体材料和脊波导之间有绝缘层隔离，所加载半导体材料填充至所刻蚀的槽中，其特征在于：所述绝缘层上直接加载半导体材料；所述加载后的波导仍保持脊波导的形状，形成封盖式波导电容；所述脊波导的波导脊上刻蚀纵向槽形成一个双脊结构。
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