[发明专利]用于电光调制器的波导电容器有效
| 申请号： | 201110028768.6 | 申请日： | 2008-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102087425A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李冰 | 申请（专利权）人： | 李冰 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电光 调制器 波导 电容器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电光调制器的波导电容器，包括脊波导，所述脊波导的波导脊上刻蚀有槽型结构，并在其上加载半导体材料，所加载的半导体材料和脊波导之间有绝缘层隔离，所加载半导体材料填充至所刻蚀的槽中，其特征在于：所述绝缘层上直接加载半导体材料；所述加载后的波导仍保持脊波导的形状，形成封盖式波导电容；所述脊波导的波导脊上刻蚀纵向槽形成一个双脊结构。
2.根据权利要求1所述的用于电光调制器的波导电容器，其特征在于：所述半导体材料为三五族化合物。
3.根据权利要求1所述的用于电光调制器的波导电容器，其特征在于：所述加载的半导体材料沿波导纵向形状宽度呈周期性变化。
4.一种用于电光调制器的波导电容器，包括脊波导，所述脊波导的波导脊上刻蚀有槽型结构，并在其上加载半导体材料，所加载的半导体材料和脊波导之间有绝缘层隔离，所加载半导体材料填充至所刻蚀的槽中，其特征在于：所述绝缘层上直接加载半导体材料；所述加载后的波导仍保持脊波导的形状，形成封盖式波导电容；所述脊波导的波导脊上沿波导纵向周期性的刻有横向槽，其间隔周期略短于光波长的二分之一；所述横向槽从边到边贯通或不贯通。
5.根据权利要求4所述的用于电光调制器的波导电容器，其特征在于：所述半导体材料为三五族化合物。
6.根据权利要求4所述的用于电光调制器的波导电容器，其特征在于：所述加载的半导体材料沿波导纵向形状宽度呈周期性变化。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于李冰，未经李冰许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110028768.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种花生收获机
- 下一篇：无线通信装置及其使用方法
