[发明专利]一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置

摘要

本发明公开了一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置，包括外室和样品座，外室的一端封闭，外室为长直形，外室的顶板上设置外室观察口，外室的侧面设置有两个载气进气口；样品引入装置还包括小内室，小内室为中空的圆柱，该小内室位于外室内部且倒扣悬挂在外室观察口下方，该小内室上端为内室观察口，内室观察口上覆盖透明材料，小内室的侧面开有出气口，该出气口通过外室导出；样品座安装在外室的底部且未接触小内室，在样品座的前、后两个侧面与外室的前、后侧内壁之间均装有定位弹珠；本发明减少了因样品更换而导致的频繁开启样品仓盖对气路系统的影响，使得等离子体质谱分析信号更稳定，得到准确度更高、精密度更好的分析结果。

主权项

一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置，包括外室（1）和样品座（2），外室（1）的一端封闭，其特征在于，所述外室（1）为长直形，外室（1）的顶板上设置外室观察口（13），外室（1）的侧面设置有两个载气进气口（6）；所述外室（1）内部有小内室（3），小内室（3）倒扣悬挂在外室观察口（13）下方，该小内室（3）为中空的圆柱状，上端为内室观察口（12），内室观察口（12）上覆盖有透明材料（5），小内室（3）的侧面开有出气口（7），该出气口（7）通过外室（1）导出；所述样品座（2）为长直形，样品座（2）安装在外室（1）的底部且未接触小内室（3），在样品座（2）的前、后两个侧面与外室（1）的前、后侧内壁之间均装有定位弹珠（8），样品座（2）尾部有推拉杆（4），使得样品座（2）通过推拉杆（4）的推拉作用和定位弹珠（8）的滑动作用在外室（1）底部滑动，从而进出外室（1）；所述样品座（2）上设置大于10个样品靶位（10），样品靶位（10）用来固定样品靶,每个样品靶位（10）下方有观察通道（11）。