[发明专利]一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置无效

专利信息
申请号: 201110004603.5 申请日: 2011-01-11
公开(公告)号: CN102184832A 公开(公告)日: 2011-09-14
发明(设计)人: 袁洪林;戴梦宁;宗春蕾;陈开运;包志安 申请(专利权)人: 西北大学
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04
代理公司: 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 代理人: 李郑建
地址: 710069 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 剥蚀 等离子 体质 样品 引入 装置
【权利要求书】:

1.一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,包括外室(1)和样品座(2),外室(1)的一端封闭,其特征在于,所述外室(1)为长直形,外室(1)的顶板上设置外室观察口(13),外室(1)的侧面设置有两个载气进气口(6);

所述外室(1)内部有小内室(3),小内室(3)倒扣悬挂在外室观察口(13)下方,该小内室(3)为中空的圆柱状,上端为内室观察口(12),内室观察口(12)上覆盖有透明材料(5),小内室(3)的侧面开有出气口(7),该出气口(7)通过外室(1)导出;

所述样品座(2)为长直形,样品座(2)安装在外室(1)的底部且未接触小内室(3),在样品座(2)的前、后两个侧面与外室(1)的前、后侧内壁之间均装有定位弹珠(8),样品座(2)尾部有推拉杆(4),使得样品座(2)通过推拉杆(4)的推拉作用和定位弹珠(8)的滑动作用在外室(1)底部滑动,从而进出外室(1);所述样品座(2)上设置大于10个样品靶位(10),样品靶位(10)用来固定样品靶,每个样品靶位(10)下方有观察通道(11)。

2.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述小内室(3)与样品座(2)之间的距离为1-3mm。

3.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述小内室(3)体积<1cm3

4.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述样品座(2)通过燕尾槽(9)安装在外室(1)的底部。

5.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述外室(1)的材料采用有机玻璃。

6.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述小内室(3)的材料采用钛镁合金。

7.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述样品靶为常规岩石薄片、锆石的16mm靶或1英寸的SHRIMP样品靶。

8.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述弹珠定位(8)位于外室(1)的前、后侧内壁的中央位置。

9.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述样品座(2)上设置15个样品靶位(10)。

10.如权利要求1所述的激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置,其特征在于,所述透明材料(5)采用萤石玻璃片。

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