[发明专利]具有处于薄膜片材中且基本垂直于衬底的电极的压电机构有效
| 申请号： | 201080068874.0 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN103069598A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | T.S.克鲁斯-乌里贝;P.马迪洛维奇 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 薛峰 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过在衬底上形成第一电极和第二电极，并且在所述衬底上以及相邻的第一电极和第二电极的所述侧表面之间沉积材料以形成薄膜片材，来形成压电执行器，在所述薄膜片材中，所述第一电极和所述第二电极从所述薄膜片材的第一表面朝向所述薄膜片材的与所述第一表面相反的第二表面延伸。所述第二电极与所述第一电极相间交叉。所述第一电极和所述第二电极的侧表面具有至少基本垂直于所述衬底。所述薄膜片材将响应通过在所述第一电极和所述第二电极上施加电压而在所述薄膜片材中感生的电场物理地变形。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 处于 薄膜 片材中 基本 垂直 衬底 电极 压电 机构 | ||
【主权项】：
一种制造压电机构的方法，包括：在衬底上形成第一电极和第二电极，所述第二电极与所述第一电极相间交叉，所述第一电极和所述第二电极具有至少基本垂直于所述衬底的侧表面；在所述衬底上以及相邻的第一电极和第二电极的所述侧表面之间沉积材料以形成薄膜片材，在所述薄膜片材中，所述第一电极和所述第二电极从所述薄膜片材的第一表面朝向所述薄膜片材的与所述第一表面相反的第二表面延伸，其中，所述薄膜片材将响应通过在所述第一电极和所述第二电极上施加电压而在所述薄膜片材中感生的电场物理地变形。
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