[发明专利]使用叠加扫描元件的单次扫描线扫描结晶法无效
| 申请号： | 201080067192.8 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102918186A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | J·S·艾姆;P·C·范德威尔特 | 申请（专利权）人： | 纽约市哥伦比亚大学理事会 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于使用叠加扫描元件进行单次扫描线扫描结晶的方法和系统。一方面，所述方法包括由脉冲激光源产生多个激光束脉冲，其中各激光束脉冲具有经过选择以熔融薄膜并在冷却时使得在所述薄膜中结晶的通量；使用第一光路将第一激光束脉冲引导至薄膜上；使所述薄膜以恒定的第一扫描速度沿第一方向行进；和使用光学扫描元件使第二激光束脉冲从所述第一光路偏转至第二光路，使得所述偏转引起所述膜经历所述激光束脉冲相对于所述薄膜的第二扫描速度，其中所述第二扫描速度小于所述第一扫描速度。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 叠加 扫描 元件 结晶 | ||
【主权项】：
一种用于加工薄膜的方法，所述方法包括：由脉冲激光源产生多个激光束脉冲，其中各激光束脉冲具有经过选择以熔融所述薄膜并在冷却时使得在所述薄膜中结晶的通量；使用第一光路将第一激光束脉冲引导至薄膜上；使所述薄膜以恒定的第一扫描速度沿第一方向行进；和使用光学扫描元件使第二激光束脉冲从所述第一光路偏转至第二光路，使得所述偏转引起所述膜经历所述激光束脉冲相对于所述薄膜的第二扫描速度，其中所述第二扫描速度小于所述第一扫描速度。
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