[发明专利]使用叠加扫描元件的单次扫描线扫描结晶法

权利要求书

1.一种用于加工薄膜的方法，所述方法包括：

由脉冲激光源产生多个激光束脉冲，其中各激光束脉冲具有经过选择以熔融所述薄膜并在冷却时使得在所述薄膜中结晶的通量；

使用第一光路将第一激光束脉冲引导至薄膜上；

使所述薄膜以恒定的第一扫描速度沿第一方向行进；和

使用光学扫描元件使第二激光束脉冲从所述第一光路偏转至第二光路，使得所述偏转引起所述膜经历所述激光束脉冲相对于所述薄膜的第二扫描速度，

其中所述第二扫描速度小于所述第一扫描速度。

2.如权利要求1所述的方法，其中各激光束脉冲具有经过选择以完全熔融所述薄膜的通量。

3.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述结晶方法包括顺序侧向固化(SLS)工艺。

4.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中各激光束脉冲具有经过选择以部分熔融所述薄膜的通量。

5.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述结晶方法包括线束准分子激光退火(ELA)工艺。

6.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述光学扫描元件选自由倾斜反射镜、旋转反射镜、线性移动光学元件和多面体扫描器组成的组。

7.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述光学扫描元件包括多面体扫描器并且所述第二脉冲被引导至与所述第一脉冲相同的小面上。

8.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述光学扫描元件包括多面体扫描器并且所述第二脉冲被引导至与所述第一脉冲不同的小面上。

9.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述结晶是在单次扫描中完成的。

10.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其包括：

使用所述第一光路将第三光束脉冲引导至所述薄膜上。

11.一种用于加工薄膜的方法，所述方法包括：

界定包括第一区域和第二区域在内的多个区域；

由脉冲激光源产生多个激光束脉冲，其中各激光束脉冲具有经过选择以熔融所述薄膜并在冷却时使得在所述薄膜中结晶的通量；

使所述薄膜以恒定的第一扫描速度沿第一方向行进，从而产生第一扫描方向；和

使用光学扫描元件使所述激光束脉冲中的至少两个偏转，使得所述光束脉冲以第二扫描速度扫描所述膜中的所述第一区域直至所述第一区域被完全加工，

其中所述第二扫描速度小于所述第一扫描速度。

12.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中各激光束脉冲具有经过选择以完全熔融所述薄膜的通量。

13.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述结晶方法包括顺序侧向固化(SLS)工艺。

14.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中各激光束脉冲具有经过选择以部分熔融所述薄膜的通量。

15.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述结晶方法包括线束准分子激光退火(ELA)工艺。

16.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述光学扫描选自由倾斜反射镜、旋转反射镜、线性移动光学元件和多面体扫描器组成的组。

17.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述光学扫描元件包括多面体扫描器并且第二激光脉冲被引导至与第一激光脉冲相同的小面上。

18.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述光学扫描元件包括多面体扫描器并且第二激光脉冲被引导至与第一激光脉冲不同的小面上。

19.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述结晶是在单次扫描中完成的。

20.如前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其包括：

在所述第一区域被以所述第二扫描速度扫描后，以所述第一扫描速度照射所述第二区域。

21.一种薄膜，其根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法进行了加工。