[发明专利]用于沉积含铜-铟-镓的薄膜的电镀方法和化学物无效
| 申请号： | 201080057374.7 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102741459A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | S·阿克苏;M·皮纳巴斯 | 申请（专利权）人： | 索罗能源公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了形成太阳能电池吸收器层的方法和前体结构。该方法包括：电沉积第一层，所述第一层包括膜叠层，该膜叠层至少包括含铜的第一膜、含铟的第二膜和含镓的第三膜，其中该第一层包括第一铜量；电沉积第二层到所述第一层上，该第二层包括第二铜-铟-镓三元合金膜、铜-铟二元合金膜、铜-镓二元合金膜和铜-硒二元合金膜中至少其一，其中该第二层包括第二铜量，该第二铜量高于所述第一铜量；和电沉积第三层到所述第二层上，该第三层包括硒；和使该前体叠层反应从而在基底上形成吸收器层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 薄膜 电镀 方法 化学 | ||
【主权项】：
一种在基底上形成太阳能电池吸收器的方法，该方法包括：形成前体叠层，包括：电沉积第一层，所述第一层包括膜叠层，该膜叠层至少包括含铜的第一膜、含铟的第二膜和含镓的第三膜，其中该第一层包括第一铜量；电沉积第二层到所述第一层上，该第二层包括第二铜‑铟‑镓三元合金膜、铜‑铟二元合金膜、铜‑镓二元合金膜和铜‑硒二元合金膜中至少其一，其中该第二层包括第二铜量，该第二铜量高于所述第一铜量；和电沉积第三层到所述第二层上，该第三层包括硒；和使该前体叠层反应从而在基底上形成吸收器层。
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