[发明专利]具有包括运动挠性装置的支撑工作台的扫描探针显微镜

摘要

扫描探针显微镜(SPM)(200)具有基于压电致动器的管式扫描器(12)，所述扫描器上附接有探针(14)并且所述扫描器可以通过对压电管施加电压而在三个平面内运动。一组挠性部(40)随着所述管的位移挠曲，附接至所述挠性部的应变计(74，76，78，80)用来测量所述挠性部的挠曲从而在扫描物体期间提供关于所述管的位移的反馈信息。所述应变计和挠性部形成这样一种运动感测框架或装置，其中对每个自由度提供单独的约束并且其中所述约束至少基本上互相正交。

主权项

一种扫描探针显微镜(SPM)，包括：扫描器，其能够在X‑Y平面中运动并支撑探针和样品支撑件中的一个；X‑轴传感器，其构造成用于感测所述扫描器在X方向上的位移；Y‑轴传感器，其构造成用于感测所述扫描器在Y方向上的位移；安装装置，其与所述扫描器联接并且其上以相对于所述扫描器间隔开的关系安装有第一和第二传感器，其中所述安装装置包括挠性部，所述挠性部与所述传感器彼此机械地分离，以便所述传感器基本上专有地和单独地分别感测X方向和Y方向的运动。