[发明专利]具有包括运动挠性装置的支撑工作台的扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜(SPM)，包括：

扫描器，其能够在X-Y平面中运动并支撑探针和样品支撑件中的一个；

X-轴传感器，其构造成用于感测所述扫描器在X方向上的位移；

Y-轴传感器，其构造成用于感测所述扫描器在Y方向上的位移；

安装装置，其与所述扫描器联接并且其上以相对于所述扫描器间隔开的关系安装有第一和第二传感器，

其中所述安装装置包括挠性部，所述挠性部与所述传感器彼此机械地分离，以便所述传感器基本上专有地和单独地分别感测X方向和Y方向的运动。

2.根据权利要求1的SPM，其中所述扫描器包括压电管组件。

3.根据权利要求2的SPM，其中所述压电管组件还能够在垂直于所述X-Y平面的Z方向上运动，并还包括Z-轴传感器，所述Z-轴传感器构造为用于感测所述扫描器在Z方向的位移，所述Z-轴传感器安装在所述安装装置上并且与所述X-轴传感器和Y-轴传感器机械地分离，以便至少基本上专有地和单独地感测Z方向的运动。

4.根据权利要求3的SPM，其中所述挠性部装置包括X-轴挠性部、Y-轴挠性部和Z-轴挠性部，还包括包含所述X-轴挠性部和所述Y-轴挠性部在内的挠性模块，并且还包括从所述Z-轴挠性部延伸到所述挠性模块的长形构件。

5.根据权利要求3的SPM，还包括与所述Z-轴挠性部隔开的挠性部支撑件，其中所述挠性模块具有联接至所述长形构件的第一端部和联接至所述挠性部支撑件的第二端部。

6.根据权利要求5的SPM，其中所述第一端部包括下挠性部支撑件，所述第二端部包括上挠性部支撑件，并且其中所述X-轴传感器安装在所述下挠性部支撑件上，所述Y-轴传感器安装在所述上挠性部支撑件上，其中所述下挠性部支撑件与所述上挠性部支撑件偏离90度。

7.根据权利要求2的SPM，其中各个传感器均包括应变计组件。

8.根据权利要求7的SPM，其中所述Z-轴挠性部包括第一支柱和第二支柱，所述第一支柱和第二支柱沿着所述管组件的相反侧以与所述管组件间隔开的关系延伸，并且其中所述Z-轴传感器的应变计组件连接在所述第一支柱和所述第二支柱之间。

9.根据权利要求1的SPM，其中所述第一传感器是应变计传感器组件，第二传感器是应变计传感器组件。

10.一种用于对物体进行成像的扫描探针显微镜(SPM)，包括：

压电管式扫描器，其响应于施加于所述压电管式扫描器的电压而在互相正交的X、Y和Z方向上运动，所述管式扫描器具有工作端，探针和样品支撑件中的一个安装至所述工作端；

传感器安装装置，包括：

基座，所述压电管式扫描器的工作端联接至所述基座，所述基座根响应于压电管在Z方向上的位移而发生挠曲，和

杆，所述杆联接至所述基座并以与所述压电管式扫描器邻近且间隔开的方式从所述基座向上延伸，所述杆响应于所述压电管式扫描器在X方向或Y方向的位移而发生挠曲；和

应变计装置，其包括：测量所述探针在Z方向的位移的第一组应变计；测量所述探针在X方向的位移的第二组应变计；测量所述探针在Y方向的位移的第三组应变计，其中所述第一组应变计联接至所述基座，所述第二和第三组应变计联接至所述杆，并且其中第一、第二和第三组应变计彼此机械地分离。

11.根据权利要求10的系统，还包括与所述第一、第二和第三组应变计互相机械地分离的挠性模块，其中所述挠性模块包括X-轴挠性部和Y-轴挠性部，并且其中所述第二组应变计联接至所述X-轴挠性部，所述第三组应变计联接至所述Y-轴挠性部。

12.根据权利要求11的系统，其中所述X-轴挠性部和所述Y-轴挠性部相对于彼此竖直地叠置，使得所述管式扫描器的X-轴运动集中在所述X-轴挠性部中并且所述管式扫描器的Y-轴运动集中在所述Y-轴挠性部中。

13.根据权利要求11的系统，其中所述X-轴挠性部和Y-轴挠性部类似地构造但互相正交地布置。