[发明专利]用于适应性抛光的方法和设备无效
| 申请号： | 201080054039.1 | 申请日： | 2010-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102753307A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | G·艾森斯托克;A·贾殷 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/07 | 分类号： | B24B37/07;B24B37/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 丁晓峰 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供用于对工件进行均匀地抛光的适应性抛光头部的方法和设备。抛光头部包括弹性抛光垫，该弹性抛光垫安装在弹性隔膜上，该弹性隔膜对抛光垫中的空腔进行密封。对空腔进行加压，以使隔膜膨胀并将抛光垫下压在工件的顶面上，使得抛光垫适应于该表面并且横贯工件施加基本上均匀的压力分布，由此横贯工件上的高低点均匀地移除材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 适应性 抛光 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种适应性抛光设备，包括：基部，工件能可释放地联接在所述基部上；转动抛光器，所述转动抛光器具有弹性适应性环形抛光垫和抛光浆液供给导管，所述环形抛光垫安装在所述转动抛光器上并且用于与联接于所述基部的工件表面接触并且弹性地适应于所述工件表面，而所述抛光浆液供给导管具有位于所述环形抛光垫中部处的出口，用以将抛光浆液供给至所述工件的表面；以及所述基部和所述抛光器中的一个安装成相对于另一个侧向运动，使得所述环形抛光垫抵靠于联接于所述基部的所述工件的表面转动且侧向地移动，并且从所述工件的整个表面均匀地移除材料。
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