[发明专利]用于适应性抛光的方法和设备

权利要求书

1.一种适应性抛光设备，包括：

基部，工件能可释放地联接在所述基部上；

转动抛光器，所述转动抛光器具有弹性适应性环形抛光垫和抛光浆液供给导管，所述环形抛光垫安装在所述转动抛光器上并且用于与联接于所述基部的工件表面接触并且弹性地适应于所述工件表面，而所述抛光浆液供给导管具有位于所述环形抛光垫中部处的出口，用以将抛光浆液供给至所述工件的表面；以及

所述基部和所述抛光器中的一个安装成相对于另一个侧向运动，使得所述环形抛光垫抵靠于联接于所述基部的所述工件的表面转动且侧向地移动，并且从所述工件的整个表面均匀地移除材料。

2.如权利要求1所述的适应性抛光设备，其特征在于，所述基部和所述抛光器中的一个安装成相对于另一个进行摆动运动，使得所述环形抛光垫抵靠于联接于所述基部的所述工件的表面转动且侧向地摆动。

3.如权利要求1所述的适应性抛光设备，其特征在于，所述抛光器还包括：

抛光头部、空腔以及加压流体供给通道，所述空腔在所述环形抛光垫之后位于所述抛光头部中，而所述加压流体供给通道与所述空腔连通，用于以受控的压力将流体供给至所述空腔，并且将所述环形抛光垫以均匀压力压靠于联接于所述基部的所述工件的表面。

4.如权利要求2所述的适应性抛光设备，其特征在于，所述转动的抛光器包括抛光头部，所述抛光头部限定向下敞开的空腔；

弹性隔膜跨过所述向下敞开的空腔，并且将所述向下敞开的空腔密封地封闭以形成压力空腔；

所述环形抛光垫安装在所述弹性隔膜的外表面上；以及

流体供给通道在所述抛光头部中与所述压力空腔连通，用于以受控的压力将流体供给至所述压力空腔，从而使所述弹性隔膜膨胀并将所述环形抛光垫以均匀压力压靠于联接于所述基部的所述工件的表面。

5.如权利要求4所述的适应性抛光设备，其特征在于，

所述转动的抛光器包括心轴；

所述抛光头部安装在所述心轴的端部上；

所述供给导管轴向地延伸通过所述心轴的中部；以及

在所述弹性隔膜的中部存在限定所述弹性隔膜上内周缘的孔，其中所述弹性隔膜的内周缘密封地附连于所述供给导管的端部，使得所述抛光浆液通过所述供给导管供给至所述环形抛光垫的中部。

6.如权利要求5所述的适应性抛光设备，其特征在于，

所述供给导管是挠性管；

刚性盘密封地附连于所述挠性管的下端，并且定位抵靠于所述弹性隔膜的外表面，使得所述挠性管能弯曲并允许所述刚性盘倾斜；以及

所述环形抛光垫附连于所述刚性盘的外表面。

7.如权利要求6所述的适应性抛光设备，其特征在于，所述刚性盘在所述空腔中的多个板簧上悬在所述抛光头部中，且所述多个板簧从所述抛光头部径向地向内延伸至所述刚性盘。

8.一种适应性抛光设备，包括：

转动的抛光头部；

挠性的环形抛光垫，所述环形抛光垫位于所述抛光头部上，用以与工件的表面相适应并且对于所述表面施加均匀的抛光压力；

供给导管，所述供给导管轴向地延伸通过所述抛光头部的中部以及所述抛光垫的中部，用以将抛光浆液供给至所述抛光垫的中部。

9.如权利要求8所述的适应性抛光设备，其特征在于，还包括：

敞开空腔，所述敞开空腔位于所述抛光头部的外表面上；

弹性隔膜，所述弹性隔膜将所述抛光头部中的敞开空腔密封地封闭；

所述环形抛光垫位于所述弹性隔膜的外表面上；

所述供给导管轴向地延伸通过所述隔膜的中部和所述抛光垫的中部；以及

供给通道，所述供给通道在所述抛光头部中与所述空腔连通，用于以受控的压力将加压流体供给至所述压力空腔，从而使所述弹性隔膜膨胀并将所述环形抛光垫以均匀抛光压力适应性地压靠于工件的表面。