[发明专利]臭氧气体供给系统

摘要

本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。

主权项

一种臭氧发生单元(7X、7Y)，其将设定为规定的供给流量、浓度的臭氧气体供给至臭氧处理装置，其特征在于，包括：臭氧发生器(1)，该臭氧发生器(1)产生臭氧气体；臭氧电源(2)，该臭氧电源(2)对供给至所述臭氧发生器的电力进行控制；以及控制元件(3～5、51)，该控制元件(3～5、51)与所述臭氧发生器关联，所述控制元件具有流量检测/流量调节元件、气体过滤元件(51)、压力检测/压力调节元件及臭氧浓度检测元件中的至少两个元件，其中，所述流量检测/流量调节元件包括对输入至所述臭氧发生器的原料气体流量(Q)进行控制的质量流量控制器(MFC)(3)，所述气体过滤元件(51)对所述臭氧发生器输出的臭氧气体进行除去杂质或异物的处理，所述压力检测/压力调节元件包括对所述臭氧发生器内的压力即内部压力进行自动控制的自动压力控制器(APC)(4)，所述臭氧浓度检测元件包括对所述臭氧发生器输出的臭氧气体的臭氧浓度值进行检测的臭氧浓度计(5)，所述臭氧发生单元还包括：原料气体供给口(14)，该原料气体供给口(14)用于将原料气体从外部供给至所述臭氧发生器；臭氧气体输出口(15)，该臭氧气体输出口(15)将从所述臭氧发生器经由所述控制元件的至少一部分而获得的臭氧气体输出至外部；以及冷却水出入口(14A、14B)，该冷却水出入口(14A、14B)用于将从外部获得的冷却水供给至所述臭氧发生器或将其从所述臭氧发生器排出，所述臭氧发生单元将所述臭氧发生器、所述臭氧电源、所述控制元件、所述原料气体供给口、所述臭氧气体输出口及所述冷却水出入口集成而形成为一体化结构。