[发明专利]臭氧气体供给系统

权利要求书

1.一种臭氧发生单元(7X、7Y)，其将设定为规定的供给流量、浓度的臭氧气体供给至臭氧处理装置，其特征在于，包括：

臭氧发生器(1)，该臭氧发生器(1)产生臭氧气体；

臭氧电源(2)，该臭氧电源(2)对供给至所述臭氧发生器的电力进行控制；以及

控制元件(3～5、51)，该控制元件(3～5、51)与所述臭氧发生器关联，

所述控制元件具有流量检测/流量调节元件、气体过滤元件(51)、压力检测/压力调节元件及臭氧浓度检测元件中的至少两个元件，

其中，所述流量检测/流量调节元件包括对输入至所述臭氧发生器的原料气体流量(Q)进行控制的质量流量控制器(MFC)(3)，

所述气体过滤元件(51)对所述臭氧发生器输出的臭氧气体进行除去杂质或异物的处理，

所述压力检测/压力调节元件包括对所述臭氧发生器内的压力即内部压力进行自动控制的自动压力控制器(APC)(4)，

所述臭氧浓度检测元件包括对所述臭氧发生器输出的臭氧气体的臭氧浓度值进行检测的臭氧浓度计(5)，

所述臭氧发生单元还包括：

原料气体供给口(14)，该原料气体供给口(14)用于将原料气体从外部供给至所述臭氧发生器；

臭氧气体输出口(15)，该臭氧气体输出口(15)将从所述臭氧发生器经由所述控制元件的至少一部分而获得的臭氧气体输出至外部；以及

冷却水出入口(14A、14B)，该冷却水出入口(14A、14B)用于将从外部获得的冷却水供给至所述臭氧发生器或将其从所述臭氧发生器排出，

所述臭氧发生单元将所述臭氧发生器、所述臭氧电源、所述控制元件、所述原料气体供给口、所述臭氧气体输出口及所述冷却水出入口集成而形成为一体化结构。

2.如权利要求1所述的臭氧发生单元，其特征在于，

还包括水分除去过滤器(59(59－1～59－n))，该水分除去过滤器(59(59－1～59－n))将从所述原料气体供给口(14(14－1～14－n))供给来的所述原料气体中所含的水分除去后，供给至所述臭氧发生单元内，

所述臭氧发生单元也将所述水分除去过滤器集成而形成为一体化结构。

3.如权利要求1所述的臭氧发生单元，其特征在于，

还包括原料气体用气体过滤器(52(52－1～52－n))，该原料气体用气体过滤器(52(52－1～52－n))将从所述原料气体供给口(14(14－1～14－n))供给来的所述原料气体中所含的杂质气体除去后，供给至所述臭氧发生单元内，

所述臭氧发生单元也将所述原料气体用气体过滤器集成而形成为一体化结构。

4.如权利要求1至3中任一项所述的臭氧发生单元，其特征在于，

还包括臭氧控制部(19)，该臭氧控制部(19)以规定的设定电力量(Ws)使所述臭氧电源驱动来作为所述臭氧电源的初始动作，在经过规定时间后，基于由所述臭氧浓度计检测出的臭氧浓度(C)与设定好的臭氧浓度(Cs)的比较，对所述臭氧电源供给的电力进行PID控制。

5.如权利要求1至3中任一项所述的臭氧发生单元，其特征在于，

所述控制元件全部包括所述流量检测/流量调节元件、所述气体过滤元件、所述压力检测/压力调节元件以及臭氧浓度检测元件，

所述臭氧发生单元还包括气体配管集成块(30)，该气体配管集成块(30)将所述臭氧发生器、所述流量检测/流量调节元件、所述气体过滤元件、所述压力检测/压力调节元件、所述臭氧浓度检测元件、所述原料气体供给口、所述臭氧气体输出口以及所述冷却水出入口彼此紧贴来进行安装，

所述气体配管集成块具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，

通过将所述多个内部配管路径与所述臭氧发生器、所述流量检测/流量调节元件、所述气体过滤元件、所述压力检测/压力调节元件、所述臭氧浓度检测元件、所述原料气体供给口、所述臭氧气体输出口以及所述冷却水出入口连接，形成了从所述原料气体供给口经由所述压力检测/压力调节元件直至所述臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、以及从所述臭氧发生器经由所述气体过滤元件、所述臭氧浓度检测元件、所述压力检测/压力调节元件直至所述臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径。