[发明专利]用于压制陶瓷蜂窝状结构的高分辨率大视场扫描检查系统

摘要

披露一种用于检查压制陶瓷蜂窝状结构的高分辨率、大视场的扫描检查系统。该系统允许通过在线式照明在多个胞室的至少一部分上进行扫描时、沿光轴来捕获经照明胞室的线图来检查细胞状陶瓷基底的端面。该检查方法包括使线式照明在光轴上定心，以致使线式照明正交地入射到端面上。该检查方法还包括从线图中形成胞室的合成图像，并且从合成图像中确定至少一个胞室的至少一个参数。

主权项

一种检查系统，所述检查系统用于检查具有端面的细胞状陶瓷基底的胞室，且所述检查系统包括：照明器，所述照明器构造成在所述端面上对于多个胞室提供正交入射线式照明；可动平台，所述可动平台可动地支承所述陶瓷结构，使得所述线式照明在扫描路径之上对于所述端面进行扫描；光学成像系统，所述光学成像系统具有轴线并且构造成形成经照明的多个胞室的线图；线扫描图像传感器，所述线扫描图像传感器设置成接收并探测所述线图并且从其中产生相对应的线图信号；以及控制器，所述控制器构造成处理所述线图信号，以形成所述端面的合成图像并且从其中确定至少一个胞室的至少一个参数。