[发明专利]分束器装置、光源装置和扫描观测装置

摘要

在将一个束分支为具有不同光学路径长度的多个束时，即使在所述束之间的相对角度不同时也能够利用简单结构将所述束沿光轴方向会聚于同一位置。提供一种分束器装置(1)，包括将输入脉冲束分支到具有不同光学路径长度的两个光学路径中的分束器(13)；设置在各自分支的光学路径(10，20)中并且中继所述光学路径(10，20)中的瞳孔的中继光学系统(16，17)；复用位于所述两个光学路径(10，20)中的中继的脉冲束的分束器(14)；以及对经由所述分束器(13)分支开的脉冲束赋予相对角度的反射光学系统(12)。

主权项

一种分束器装置，由输入脉冲束生成待照射在对象上的多个脉冲束，所述分束器装置包括：至少一个分支部，将所述输入脉冲束分支到两个光学路径中；至少一个延迟部，对沿着经由所述分支部分支开的所述两个光学路径经过的脉冲束赋予相对时间延迟，以充分分离由所述脉冲束引起的所述对象中的响应；以及束角度设定部，对由所述延迟部赋予了所述相对时间延迟的所述多个脉冲束赋予相对角度并且将所述多个脉冲束会聚于同一位置。