[发明专利]分束器装置、光源装置和扫描观测装置

权利要求书

1.一种分束器装置，由输入脉冲束生成待照射在对象上的多个脉冲束，所述分束器装置包括：

至少一个分支部，将所述输入脉冲束分支到两个光学路径中；

至少一个延迟部，对沿着经由所述分支部分支开的所述两个光学路径经过的脉冲束赋予相对时间延迟，以充分分离由所述脉冲束引起的所述对象中的响应；以及

束角度设定部，对由所述延迟部赋予了所述相对时间延迟的所述多个脉冲束赋予相对角度并且将所述多个脉冲束会聚于同一位置。

2.根据权利要求1所述的分束器装置，包括：

中继光学系统，设置在经由所述分支部分支开的每一个所述光学路径中并且中继每一个所述光学路径中的瞳孔；以及

至少一个复用部，复用由所述中继光学系统中继的所述多个脉冲束，其中

所述束角度设定部对经由所述分支部分支开的所述脉冲束之一赋予角度，以具有相对于其它脉冲束的相对角度。

3.根据权利要求2所述的分束器装置，其中

所述中继光学系统包括至少一对透镜，并且

所述束角度设定部设置在所述一对透镜之间。

4.根据权利要求2所述的分束器装置，

其中，所述束角度设定部包括第一反射镜，反射经由所述分支部分支开的脉冲束；第二反射镜，将由所述第一反射镜反射的所述脉冲束朝向所述复用部反射；以及直线平移机构，在沿着所述第一反射镜和所述第二反射镜间的光轴的方向上一起直线平移所述第一反射镜和所述第二反射镜。

5.根据权利要求2所述的分束器装置，

其中，所述束角度设定部包括反射镜，将经由所述分支部分支开的所述脉冲束朝向所述复用部反射；以及摆动机构，绕着与所述脉冲束的光轴正交的轴摆动所述反射镜。

6.根据权利要求2所述的分束器装置，

其中，所述束角度设定部包括摆动机构，所述摆动机构绕着与所述脉冲束的光轴正交的轴摆动所述分支部和所述复用部中的至少一个。

7.根据权利要求2所述的分束器装置，包括：

串行的多个单元，均包括所述分支部、所述复用部、所述中继光学系统以及所述束角度设定部的，其中

所述束角度设定部设置在各自分支部和各自复用部之间。

8.根据权利要求2所述的分束器装置，包括：

至少一个复用/分支部，复用经由所述分支部分支开的所述两个光学路径中的所述脉冲束并且将两个所复用的脉冲束分支到具有不同光学路径长度的两个光学路径中，

其中，所述中继光学系统设置在经由所述分支/复用部分支开的每一个所述光学路径中，并且所述束角度设定部对经由所述复用/分支部分支开的脉冲束赋予相对角度。

9.根据权利要求2所述的分束器装置，包括：

偏振调制器，设置在所述复用部的上游的所述光学路径之一中并且使多个光学路径的偏振态彼此正交，其中

所述复用部是偏振分束器。

10.一种分束器装置，由输入脉冲束生成待照射在对象上的多个脉冲束，所述分束器装置包括：

至少一个分支部，将所述输入脉冲束分支到两个光学路径中；

至少一个延迟部，对沿着经由所述分支部分支开的所述两个光学路径经过的脉冲束赋予相对时间延迟，以充分分离由所述脉冲束引起的所述对象中的响应；

至少一个复用部，复用由所述延迟部赋予了所述时间延迟的所述两个脉冲束；

静止移位部，设置在经由所述分支部分支开的每一个所述光学路径中，使由所述复用部复用的脉冲束入射在所述复用部的不同位置并且在最后复用部之后使所述脉冲束的主光线彼此平行；以及

至少一个聚焦透镜，设置在所述最后复用部之后。

11.根据权利要求10所述的分束器装置，包括：

中继光学系统，设置在经由所述分支部分支开的每一个所述光学路径中并且中继每一个所述光学路径中的瞳孔。

12.根据权利要求10所述的分束器装置，其中

所述静止移位部包括至少两个反射镜以及在与入射在所述反射镜上的脉冲束的光轴平行的平面中直线平移所述反射镜中的至少一个以改变所述反射镜之间的光学路径长度的直线平移机构。