[发明专利]使用等离子、活性或还原气体的气氛来清洁铜引线的系统和方法无效
| 申请号： | 201080046574.2 | 申请日： | 2010-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN102574237A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | P·L·休;W·赖斯 | 申请（专利权）人： | 琳德股份公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;H01L21/00;H01L21/60;B23K20/24;B08B7/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张兰英;刘佳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种方法和设备(100)，用于在引线接合工艺中使用引线(20)之前、采用等离子、活性或还原气体对来自接合引线(20)的氧化物进行清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 等离子 活性 还原 气体 气氛 清洁 引线 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洁接合引线的系统，包括：接合引线的线卷；引线接合设备；毛细管馈送件，所述毛细管馈送件用于将所述接合引线馈送至所述引线接合设备；所述接合引线的延伸部，所述延伸部从所述线卷行进至所述毛细管馈送件；以及用于封闭的装置，所述用于封闭的装置用于将所述接合引线的延伸部的至少一部分封闭在等离子、活性或还原气体的气氛中。
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