[发明专利]使用等离子、活性或还原气体的气氛来清洁铜引线的系统和方法

权利要求书

1.一种用于清洁接合引线的系统，包括：

接合引线的线卷；

引线接合设备；

毛细管馈送件，所述毛细管馈送件用于将所述接合引线馈送至所述引线接合设备；

所述接合引线的延伸部，所述延伸部从所述线卷行进至所述毛细管馈送件；以及

用于封闭的装置，所述用于封闭的装置用于将所述接合引线的延伸部的至少一部分封闭在等离子、活性或还原气体的气氛中。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述用于封闭的装置包括管子。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括两个电极，所述电极位于所述管子的外表面上，且所述电极彼此隔离。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括有孔电极和金属毛细管，所述有孔电极位于所述管子的外表面上，而所述金属毛细管将尺寸设计成装配在所述管子内。

5.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述管子由玻璃、塑料、陶瓷、介电材料或其它抗等离子侵蚀的材料制成。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述接合引线是金、银、铝、铜或铜合金引线。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述等离子气氛是氢、氩、氮、氧或一种或多种上述气体的混合物。

8.一种对用于引线接合工艺的接合引线进行清洁的方法，包括：

使所述接合引线从供给线卷延伸至毛细管馈送件，进入引线接合过程；

沿着所述接合引线的延伸部的至少一部分、在所述线卷和所述毛细管馈送件之间建立等离子、活性或还原气体的气氛；以及

在所述等离子气氛中清洁所述接合引线。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述接合引线是金、银、铝、铜或铜合金引线。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述等离子气氛是氢、氩、氮、氧或一种或多种上述气体的混合物。

11.如权利要求8所述的方法，其特征在于，建立气体气氛包括提供管子并且在所述管子内提供所述气体气氛，且所述管子将所述接合引线的延伸部的一部分封闭。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述管子由玻璃、塑料、陶瓷、介电材料或其它抗等离子侵蚀的材料制成。

13.如权利要求11所述的方法，其特征在于，在所述管子内提供所述气体气氛包括将从外部源产生的气体注入所述管子。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，注入气体包括通过与所述管子相关联的T或Y型连接部来注入所述气体。

15.如权利要求13所述的方法，其特征在于，注入气体包括通过所述管子的一个端部或两个端部来注入所述气体。

16.如权利要求8所述的方法，其特征在于，在所述管子内提供所述气体气氛包括将所述气体注入所述管子并且激励所述管子内部的气体。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，注入气体包括通过与所述管子相关联的T或Y型连接部来注入所述气体。

18.如权利要求16所述的方法，其特征在于，注入气体包括通过所述管子的一个端部或两个端部来注入所述气体。

19.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述气体气氛是氩和氢的混合物。

20.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述气体气氛是氮和氢的混合物。