[发明专利]用于在磁记录介质上制作图案的系统

摘要

一种内联(inline)处理系统(图12)，其用于在硬盘驱动器中所使用的硬盘上将磁性记录层图案化。盘在被称为MDCs的圆形的板状的支持架中以垂直方向两面同时被处理，多个盘(多达10个)被架于MDC的拨盘载体中，从一个工作台转移至另一个。在每个操作台MDC的拨盘载体可被旋转和/或成自法线70°的角度(图28)，从而使一个或多个工程源便可同时处理盘。所述配置节省了时间和减少了所需的工程源的数目和大小。此外，还公开了一种用于磁性介质的图案化的掩模增强工程(图16)，以及一起被使用的填充和平整工程。

主权项

一种多个基板的处理装置，其特征在于，包括：多盘载体，其包含持有多个所述基板的可旋转拨盘载体；和多个处理模块，其各自被制备成可收容多盘载体的大小，且所述模块中的至少一个包含处理源，用于将表面处理工程同时地应用于位于所述处理模块内的多盘载体的拨盘载体内的多个基板。