[发明专利]用于微光刻的照明光学单元无效
| 申请号： | 201080043764.9 | 申请日： | 2010-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102549461A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | D.菲奥尔卡;R.施图茨尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G21K1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种包括反射镜聚光器的照明光学单元，在该照明光学单元工作期间，该反射镜聚光器产生施加到第一分面光学元件的偏振分布，其中存在至少两个施加了具有不同偏振的辐射的第一分面元件，并且第一分面光学元件具有至少一个第一状态，在第一状态中，选择第一分面元件的反射表面的法向矢量，使得在该照明光学单元工作期间，在物场的位置处产生第一预定偏振分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微光 照明 光学 单元 | ||
【主权项】：
一种用于EUV微光刻的照明光学单元(3)，所述照明光学单元(3)包括反射镜聚光器(5，905)和第一分面光学元件(7，207，407，707，807)，所述第一分面光学元件具有用于照明物平面(23)中的物场(21)的多个第一分面元件(9，209，409，709，809，861，863)，其中每个第一分面元件(9，209，409，709，809，861，863)具有反射表面，所述反射表面的法向矢量的方向确定所述反射表面的空间取向，其特征在于：所述反射镜聚光器(5，905)产生偏振分布，在所述照明光学单元(3)工作期间，所述偏振分布被施加到所述第一分面光学元件(7，207，407，707，807)，并且存在至少两个被施加了具有不同偏振的辐射的第一分面元件(9，209，409，709，809，861，863)，其中所述第一分面光学元件(7，207，407，707，807)具有至少一个第一状态，在所述第一状态中，选择所述第一分面元件(9，209，409，709，809，861，863)的反射表面的法向矢量，使得在所述照明光学单元(3)的工作期间，所述物场(21)的位置处产生第一预定偏振分布。
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