[发明专利]产生等离子体的微波天线有效

专利信息
申请号: 201080037782.6 申请日: 2010-07-06
公开(公告)号: CN102612863A 公开(公告)日: 2012-07-25
发明(设计)人: 刘铉锺;章守旭;郑熔镐;李奉柱 申请(专利权)人: 韩国基础科学研究院
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24;H05H1/34
代理公司: 北京攀腾专利代理事务所(普通合伙) 11374 代理人: 彭蓉;陈纤
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及利用微波产生均匀的大面积等离子体的新结构的天线,本发明的产生等离子体的微波天线包括,波导管,天线体,以及,同轴结构连接部,其通过电连接上述波导管和上述天线体,上述天线体设置有多个槽的环状导电体块,在上述导电体块的多个槽之间形成有凹槽,在上述凹槽中插入有多个永磁体。上述多个槽可为贯通上述导电体块的内外部,并且上述多个槽可以具有反复的方波形状。根据本发明,永磁体直接安装于天线体,从而通过ECR产生的高能电子(energetic electrons)利用磁场梯度和曲率所引起的作用力,分布于微波天线体中,高能电子重新离子化周围的中性粒子,从而产生具有均匀大面积以及均匀对称性的等离子体。
搜索关键词: 产生 等离子体 微波 天线
【主权项】:
一种产生等离子体的微波天线,其包括,波导管;天线体;以及,同轴结构连接部,其对所述波导管和所述天线体进行电连接,其中,所述天线体:设置有多个槽的环状的导电体块,在所述导电体块的所述多个槽之间形成凹槽,在所述凹槽中插入有多个永磁体。
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