[发明专利]光学设备和定向反射元件的方法有效
| 申请号： | 201080037143.X | 申请日： | 2010-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102483581A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 埃德温·比伊斯;G·德维里斯;F·布恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学设备，具有可移动反射元件(110)和相关的致动器(109)。所述致动器包括第一磁体(113)和第二磁体(114)，所述第一磁体连接至所述可移动反射元件使得所述第一磁体的移动将导致所述可移动反射元件移动，所述第二磁体连接至马达(116)使得所述马达的操作将导致所述第二磁体移动，其中所述第二磁体被相对于所述第一磁体定位，使得移动所述第二磁体将导致所述第一磁体移动。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 设备 定向 反射 元件 方法 | ||
【主权项】：
一种光学设备，包括可移动反射元件和相关的致动器，所述致动器包括第一磁体和第二磁体，所述第一磁体连接至所述可移动反射元件使得所述第一磁体的移动将导致所述可移动反射元件移动，所述第二磁体连接至马达使得所述马达的操作将导致所述第二磁体移动，其中所述第二磁体被相对于所述第一磁体定位，使得移动所述第二磁体将导致所述第一磁体移动。
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