[发明专利]具有角度选择性反馈的垂直腔表面发射激光器件

摘要

本发明涉及一种激光器件，其包括至少一个大面积VCSEL（101）以及至少一个光学反馈元件（201，301），所述光学反馈元件对于从所述激光器发射的激光辐射提供角度选择性反馈。对于以相对于激光器的光轴（601）的角度θ>0发射的激光辐射的至少一部分而言，与针对在所述光轴（601）上发射的激光辐射相比，所述角度选择性反馈更高。本发明也涉及一种将大面积VCSEL的激光发射稳定在希望的角度分布（501，502）下的方法。利用所提出的器件和方法，可以将大面积VCSEL的强度分布稳定在希望的形状，例如环形形状。

主权项

一种激光器件，包括‑ 至少一个大面积垂直腔表面发射激光器（101），所述激光器具有光轴（601），以及‑ 至少一个光学反馈元件（201，301‑308），所述光学反馈元件对于从所述激光器发射的激光辐射提供角度选择性反馈，‑ 对于以相对于所述光轴（601）的角度θ>0发射的激光辐射的至少一部分而言，与针对在所述光轴上发射的激光辐射相比，所述角度选择性反馈更高。