[发明专利]具有角度选择性反馈的垂直腔表面发射激光器件

权利要求书

1.一种激光器件，包括

- 至少一个大面积垂直腔表面发射激光器（101），所述激光器具有光轴（601），以及

- 至少一个光学反馈元件（201，301-308），所述光学反馈元件对于从所述激光器发射的激光辐射提供角度选择性反馈，

- 对于以相对于所述光轴（601）的角度θ>0发射的激光辐射的至少一部分而言，与针对在所述光轴上发射的激光辐射相比，所述角度选择性反馈更高。

2.依照权利要求1的激光器件，

其中对于关于所述光轴（601）点对称的激光辐射部分而言，与针对在所述光轴（601）上发射的激光辐射相比，所述角度选择性反馈更高。

3.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）包括具有空间调制反射率的曲面镜（302）。

4.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）包括平面镜（301）和至少一个透镜（201）的组合。

5.依照权利要求4的激光器件，

其中其中所述平面镜（301）具有空间调制反射率。

6.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）包括光栅（305）。

7.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）包括棱镜阵列（306）。

8.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）包括具有至少一个自由形状表面的光学元件（307，308），所述自由形状表面被定形为提供所述角度选择性反馈。

9.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）或者所述反馈元件（201，301-308）的部件接合到所述激光器（101）上或者单片集成到所述激光器（101）的衬底（102）中。

10.依照权利要求1的激光器件，

其中所述反馈元件（201，301-308）与所述激光器（101）分开地设置。

11.依照权利要求1的激光器件，

其中反馈元件（201，301-308）被设计成使得激光器（101）的外耦合镜以及反馈元件（201，301-308）的提供更高反馈的表面部分的反射率的乘积大于98%。

12.依照权利要求1的激光器件，

其中若干具有相同反馈元件（201，301-308）的所述激光器（101）设置成阵列的形式，并且其中所述激光器（101）的激光辐射在穿过所述反馈元件（201，301-308）之后由公共透镜（204）收集以便叠加到工作平面中。

13.依照权利要求1的激光器件，

其中在所述反馈元件（201，301-308）之后将附加的光学器件设置在光束方向上，所述附加的光学器件被设计成将穿过反馈元件（201，301-308）之后的激光辐射的强度分布转换成不同的几何形状，尤其是高斯状形状。

14.一种将大面积垂直腔表面发射激光器（101）的激光发射稳定在希望的角度分布下的方法，

其中针对从所述激光器（101）发射的激光辐射通过角度选择性光学反馈执行所述稳定化，

对于以相对于所述激光器（101）的光轴（601）的角度θ>0发射的激光辐射的至少一部分而言，与针对在所述光轴（601）上发射的激光辐射相比，所述角度选择性反馈更高。

15.依照权利要求14的方法，

其中对于激光辐射的至少一个环形形状的部分而言，与针对在所述光轴（601）上发射的激光辐射相比，所述角度选择性反馈被选择为更高，从而在远场中导致环形形状的强度分布（501，502）。