[发明专利]太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法以及供给装置有效
| 申请号： | 201080035130.9 | 申请日： | 2010-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102471062A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 伊藤吉则;高桥康弘 | 申请（专利权）人： | 大阳日酸株式会社 |
| 主分类号： | C01B19/04 | 分类号： | C01B19/04;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 杨晶;王琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法具有供给工序，所述供给工序通过对从基本气体供给流路(L1)供给的惰性气体与从原料气体供给流路(L2)供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，所述基本气体供给流路(L1)与所述原料气体供给流路(L2)上设置有将两者相互连通的旁通流路(L7)，在从所述原料气体供给流路(L2)中导出规定量的所述100％硒化氢气体之后，经由所述旁通流路(L7)，从所述原料气体供给流路(L2)中导出所述惰性气体，来配制出规定浓度的硒化氢混合气体，并且使所述原料气体供给流路(L2)中残留的硒化氢的体积浓度为10％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 用硒化氢 混合气体 供给 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，具有供给工序，所述供给工序通过对从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，所述基本气体供给流路与所述原料气体供给流路上设置有将两者相互连通的旁通流路，在从所述原料气体供给流路中导出规定量的所述100％硒化氢气体之后，经由所述旁通流路，从所述原料气体供给流路中导出所述惰性气体，来配制出规定浓度的硒化氢混合气体，并且使所述原料气体供给流路中残留的硒化氢的体积浓度为10％以下。
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