[发明专利]太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法以及供给装置

权利要求书

1.一种太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，具有供给工序，所述供给工序通过对从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体，

所述基本气体供给流路与所述原料气体供给流路上设置有将两者相互连通的旁通流路，

在从所述原料气体供给流路中导出规定量的所述100％硒化氢气体之后，经由所述旁通流路，从所述原料气体供给流路中导出所述惰性气体，来配制出规定浓度的硒化氢混合气体，并且使所述原料气体供给流路中残留的硒化氢的体积浓度为10％以下。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，

在所述原料气体供给流路的上游侧和下游侧分别设置有流路截断单元，

使通过上游侧和下游侧的所述流路截断单元被密封的所述原料气体供给流路内的硒化氢的体积浓度为10％以下。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，所述供给工序包括：

第一步骤，从所述基本气体供给流路中导出规定量的所述惰性气体，并且从所述原料气体供给流路中导出规定量的所述100％硒化氢气体；

第二步骤，从所述原料气体供给流路中导出规定追加量的所述100％硒化氢气体；以及

第三步骤，按照所述100％硒化氢气体的所述规定追加量，经由所述旁通路径，从所述原料气体供给流路中导出规定追加量的所述惰性气体。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给方法，

在所述基本气体供给流路和所述原料气体供给流路的下游侧设置有混合气体贮留槽，

将在所述第一步骤至第三步骤中导出的惰性气体和100％硒化氢气体的全部都供给到所述混合气体贮留槽中，以将该混合气体贮留槽内的所述硒化氢混合气体中的硒化氢的体积浓度调整为规定浓度。

5.一种太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，具备：

基本气体供给流路；

原料气体供给流路；

旁通流路，设置成将所述基本气体供给流路和所述原料气体供给流路相连通；以及

流路截断单元，分别设置在所述原料气体供给流路的上游侧和下游侧，

所述旁通流路被连接到所述原料气体供给流路的上游侧的流路截断单元和下游侧的流路截断单元之间的所述上游侧的流路截断单元那一侧，

通过对从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的100％硒化氢气体进行混合，来供给已调整为规定浓度的硒化氢混合气体。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，

在所述原料气体供给流路上设置有流量控制单元，所述流量控制单元用于控制所述100％硒化氢气体的流量，

所述流量控制单元配置在所述上游侧的流路截断单元和所述下游侧的流路截断单元之间。

7.根据权利要求5所述的太阳能电池用硒化氢混合气体的供给装置，进一步具备：

混合气体贮留槽，设置在所述基本气体供给流路和所述原料气体供给流路的下游侧；以及

气体浓度分析仪，用于对在所述混合气体贮留槽中贮留的硒化氢混合气体中的硒化氢浓度进行测量。