[发明专利]静电夹头中的点火防止

摘要

本发明提供了一种静电夹头组件，包括陶瓷接触层、图案化粘合层、导电底座和地下电弧缓解层。所述陶瓷接触层和所述导电底座共同配合来限定在所述静电夹头组件的地下部分形成的多个混合气体分配通路。所述混合气体分配通路中的各个混合气体分配通路包括由导电底座提供的相对较高的电导率的表面和由陶瓷接触层提供的相对较低的电导率的表面。所述地下电弧缓解层包括相对较低电导率的层，并且该地下电弧缓解层形成在所述静电夹头组件的所述地下部分中的所述混合气体分配通路的相对较高的电导率表面之上。也提供了半导体晶片处理室。

主权项

一种静电夹头组件，包括陶瓷接触层、图案化粘合层、导电底座和地下电弧缓解层，其中：所述图案化粘合层配置为将所述陶瓷接触层固定到所述导电底座；所述陶瓷接触层和所述导电底座共同配合来限定在所述静电夹头组件的地下部分中形成的多个混合气体分配通路；所述陶瓷接触层包括接触表面和在所述陶瓷接触层的接触表面中形成的多个冷却剂端口；所述冷却剂端口与所述静电夹头组件的混合气体分配通路是流体连通的；所述混合气体分配通路中的各个混合气体分配通路包括由导电底座提供的相对较高的电导率的表面和由陶瓷接触层提供的相对较低的电导率的表面；所述地下电弧缓解层包括相对较低的电导率的层，并且该地下电弧缓解层形成在所述静电夹头组件的所述地下部分中的所述混合气体分配通路的所述相对较高的电导率的表面之上。