[发明专利]靶-背衬板组装体有效
| 申请号： | 201080032231.0 | 申请日： | 2010-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102656289A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 熊原吉一 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶-背衬板组装体，用于磁控溅射，其特征在于，靶的侵蚀面与配置于靶的背面的磁铁以及与靶相对的衬底面的距离各自恒定，该靶以使由于溅射而受到侵蚀的部位增厚的方式在背衬板面侧具备使厚度产生变化的凹凸形状，并且在背衬板与具有凹凸形状的靶间的靶的薄部具备包含导电性材料的垫片。本发明提供可以在靶的整个溅射过程中使膜的均匀性(膜厚的均匀性)良好、并且靶的寿命长的高使用效率靶、靶的制造方法以及靶-背衬板组装体。 | ||
| 搜索关键词： | 背衬板 组装 | ||
【主权项】：
一种靶‑背衬板组装体，用于磁控溅射，其特征在于，靶的侵蚀面与配置于靶的背面的磁铁以及与靶相对的衬底面的距离各自恒定，该靶以使由于溅射而受到侵蚀的部位增厚的方式在背衬板面侧具备使厚度产生变化的凹凸形状，并且在背衬板与具有凹凸形状的靶间的靶的薄部具备包含导电性材料的垫片。
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