[发明专利]靶-背衬板组装体

权利要求书

1.一种靶-背衬板组装体，用于磁控溅射，其特征在于，靶的侵蚀面与配置于靶的背面的磁铁以及与靶相对的衬底面的距离各自恒定，该靶以使由于溅射而受到侵蚀的部位增厚的方式在背衬板面侧具备使厚度产生变化的凹凸形状，并且在背衬板与具有凹凸形状的靶间的靶的薄部具备包含导电性材料的垫片。

2.如权利要求1所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，在靶的长度方向的两侧的底部，从离最终受到侵蚀后的靶的侵蚀面0.5mm以上的位置，朝向靶的长度方向的两侧的边缘部及靶的底部，在与作为靶的下表面的背衬板的接合面之间，具备凹口部。

3.如权利要求1或2所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，靶为二分割以上的分割靶。

4.如权利要求1至3中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，靶、背衬板和垫片各自用焊料接合。

5.如权利要求1至4中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，溅射靶为铟、锡、铝、铜、钽、钛、镍、钴、钌、钨、铑或者它们的合金或氧化物。

6.如权利要求1至5中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，垫片为以铜、铝、钛、钼或者以它们作为主成分的合金。

7.如权利要求1至6中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，最厚部位的靶的厚度以及薄部位的靶和垫片的合计厚度是恒定的。

8.如权利要求1至7中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，相对于靶的长度方向的中心线，靶是非对称的。

9.如权利要求1至8中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，其为背衬板的厚度恒定的平板状的板。

10.如权利要求1至8中任一项所述的靶-背衬板组装体，其特征在于，仅仅背衬板的长度方向的两端部的厚度比其它厚度小，且在厚度的边界具有高差。