[发明专利]图案形成设备、图案形成方法及装置制造方法有效
| 申请号： | 201080032017.5 | 申请日： | 2010-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN102472978A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 木内彻;水谷英夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 康建峰;王娜丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 当片(S)的分块区域(SAi)被扫描曝光时，载物台(SST1)在扫描区域(AS)的+X端部的备用位置处将与片(S)的分块区域(SAi)对应的后表面部分吸附到片保持器(SH1)的保持表面上，并且与掩模(掩模载物台)同步地以预定行程在X轴方向(-X方向)上移动。此时，与掩模的图案部分对应的照射束通过投射光学系统照射在片(S)上。由此转印(形成)图案。在对分块区域(SAi)进行扫描曝光之后，载物台(SST2)移动到XY平面内的备用位置。在载物台(SST2)将与片(S)的下一个分块区域(SAi+1)对应的后表面部分吸附到片保持器(SH1)的保持表面上之后，通过与上述类似的扫描曝光方法进行曝光，由此形成图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 设备 方法 装置 制造 | ||
【主权项】：
一种图案形成设备，所述图案形成设备利用扫描曝光在长片材的表面上的多个区域中形成预定图案，在所述扫描曝光中，沿着与所述片材的纵向平行的第一轴扫描移动所述片材而同时将与所述图案对应的能量束照射到所述片材上，所述图案形成设备包括：第一可移动载物台和第二可移动载物台，每个可移动载物台都具有能够吸附所述片材的后表面部分的基准表面并且能够在平行于所述基准表面的包括所述第一轴的二维平面内移动，其中所述第一可移动载物台在预定吸附位置处将与所述片材的第一区域对应的后表面部分吸附到所述基准表面上，并且以预定行程在平行于所述第一轴的方向上移动，并且其中所述第二可移动载物台在所述二维平面内移动到所述预定吸附位置，并且将与所述片材的第二区域对应的后表面部分吸附到所述基准表面上。
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