[发明专利]图案形成设备、图案形成方法及装置制造方法

权利要求书

1.一种图案形成设备，所述图案形成设备利用扫描曝光在长片材的表面上的多个区域中形成预定图案，在所述扫描曝光中，沿着与所述片材的纵向平行的第一轴扫描移动所述片材而同时将与所述图案对应的能量束照射到所述片材上，所述图案形成设备包括：

第一可移动载物台和第二可移动载物台，每个可移动载物台都具有能够吸附所述片材的后表面部分的基准表面并且能够在平行于所述基准表面的包括所述第一轴的二维平面内移动，

其中所述第一可移动载物台在预定吸附位置处将与所述片材的第一区域对应的后表面部分吸附到所述基准表面上，并且以预定行程在平行于所述第一轴的方向上移动，并且

其中所述第二可移动载物台在所述二维平面内移动到所述预定吸附位置，并且将与所述片材的第二区域对应的后表面部分吸附到所述基准表面上。

2.根据权利要求1所述的图案形成设备，

其中所述第二可移动载物台将与所述第二区域对应的所述后表面部分吸附到所述基准表面上，并且以所述预定行程在平行于所述第一轴的方向上移动，并且

其中所述第一可移动载物台在所述二维平面内移动到所述预定吸附位置，并且将与所述片材的第三区域对应的后表面部分吸附到所述基准表面上。

3.根据权利要求1或2所述的图案形成设备，

其中至少部分地并行进行所述第一可移动载物台在平行于所述第一轴的方向上的移动操作与所述第二可移动载物台向所述预定吸附位置的移动操作。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成设备，

其中，在所述预定吸附位置处吸附所述片材并且在平行于所述第一轴的方向上的所述移动操作之后，所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台解除对所述片材的吸附。

5.根据权利要求4所述的图案形成设备，

其中所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台沿着与所述移动操作的路线不同的路线移动到所述预定吸附位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的图案形成设备，还包括：

扁平马达，所述扁平马达在所述二维平面内驱动所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台。

7.根据权利要求5所述的图案形成设备，还包括：

传送设备，所述传送设备沿着所述不同路线传送所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台。

8.根据权利要求1至5和7中任一项所述的图案形成设备，还包括：

驱动设备，所述驱动设备在所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台以所述预定行程在平行于所述第一轴的方向上移动时驱动所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台。

9.根据权利要求8所述的图案形成设备，

其中所述驱动设备包括：第一驱动设备，所述第一驱动设备在平行于所述二维平面的方向上精细驱动所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台；以及第二驱动设备，所述第二驱动设备在平行于所述第一轴的方向上驱动所述驱动设备。

10.根据权利要求9所述的图案形成设备，

其中所述第一可移动载物台和所述第二可移动设备中的每一个通过所述第一驱动设备的定子能够与所述第二驱动设备附接/脱离所述第二驱动设备，并且

其中所述第一驱动设备由所述定子以及所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台中的每一个中提供的动子组成。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的图案形成设备，

其中在与所述二维平面平行的引导表面上悬浮支撑所述第一可移动载物台和所述第二可移动载物台。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的图案形成设备，还包括：

供给设备，所述供给设备在平行于所述第一轴的方向上将所述片材从第一侧供给到第二侧。

13.根据权利要求12所述的图案形成设备，

其中所述供给设备包括驱动辊和压辊，所述驱动辊和所述压辊允许被设置到能够将所述片材夹在中间的第一状态和能够解除将所述片材夹在中间的第二状态，并且在所述第一状态中所述驱动辊和所述压辊关于垂直于所述二维平面内的所述第一轴的第二轴以彼此相反的方向转动。