[发明专利]不产生等离子体确定等离子体处理系统的准备状态

摘要

用于帮助确定等离子体处理系统(其包括等离子体处理腔)是否准备好处理晶片的测试系统。所述测试系统可以包括至少存储测试程序的计算机可读介质。所述测试程序可以包括用于在所述等离子体处理腔中不存在等离子体时接收来源于由至少一个传感器检测到的信号的电参数值的代码。所述测试程序也可以包括使用所述电参数值和数学模型产生电模型参数值的代码。所述测试程序也可以包括比较所述电模型参数值与基准模型参数值信息的代码。所述测试程序也可以包括基于所述比较确定所述等离子体处理系统准备状态的代码。所述测试系统也可以包括执行一个或更多与所述测试程序关联的任务的电路硬件。

主权项

帮助确定等离子体处理系统是否准备好处理晶片的测试系统，所述等离子体处理系统包括等离子体处理腔，所述测试系统包括：至少存储测试程序的计算机可读介质，所述测试程序至少包括：用于接收至少多个电参数值的代码，所述多个电参数值来源于由至少一个传感器检测到的信号，所述信号在没有等离子体存在于所述等离子体处理腔时由所述至少一个传感器检测到，至少使用所述多个电参数值和数学模型产生成组电模型参数值的代码，将所述成组电模型参数值与成组的基准模型参数值信息比较的代码，和至少基于所述比较的结果确定所述等离子体处理系统准备状态的代码；以及成套的电路硬件，用于执行一个或更多关联于所述测试程序的任务。